Transpector XPR3L 气体分析系统

通过监测气体压力、检测污染和查找泄漏，优化太阳能电池和 LCD 过程良率

用于监控过程气体和基本真空条件的工具是 Transpector ® XPR3L 气体分析系统提供的经济高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 过程监控解决方案可以实时提供有关过程气体压力、气体比率、污染级别、杂质和泄漏情况的信息。此信息可用于大限度提高过程良率和产品质量。XPR3L 提供的本底监控解决方案可以通过快速检测和诊断泄漏及污染，提高预防性维护程序的有效性和效率。

功能

• 通过运行高达 10mTorr（可选 20mTorr）的 UHV，提供经济实惠的双用功能、过程监控和基本真空保证
• 经济高效的过程监控器，可用于可扩展的生产设计
• 通过持续自动监控过程气体压力、气体比率和可能存在的污染或杂质，提高过程良率，减少碎片，提高产品质量
• 通过以高灵敏度和极小可检分压强验证基本真空条件、查找泄漏以及鉴别污染，加快 PM 恢复，提高生产力
• 可在 1 - 100 amu 质量范围内运行，能够检测各种材料、污染或副产品，确保您的投资**，降低投资风险
• 与 FabGuard 监控和分析系统相兼容，提供可靠、先进的诊断和过程控制

典型应用

• 太阳能/光伏设备制造
• LCD 制造
• PVD 过程监控
• 监控过程气体压力和气体比率
• 暴露和鉴别污染
• 检测和查找泄漏（空气、氦气、水及其他蒸汽）
• PM 恢复/故障排除和验证基本真空