如何选择INFICON真空计

日期：2025-05-10 06:35

浏览次数：1334

摘要：如何选择INFICON真空计　　　　一，皮拉尼真空计PSG500 　　　　1.皮拉尼真空计原理　　　　加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度　　　　由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化　　　　热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系　　　　2.衍生出两种类型的皮拉尼规　　　　 1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICONPSG500）　　　　 2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）　　　　 3.气体的热传导，与下列提条件有关: ...

如何选择INFICON真空计
　　
　　一，皮拉尼真空计PSG500
　　
　　1.皮拉尼真空计原理
　　
　　加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度
　　
　　由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化
　　
　　热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系
　　
　　2.衍生出两种类型的皮拉尼规
　　
　　 1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICONPSG500）
　　
　　 2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）
　　
　　 3.气体的热传导，与下列提条件有关:
　　
　　   1，气体类型
　　
　　   2，压力大小
　　
　　 4.皮拉尼真空计测量范围与精度
　　
　　测量范围（空气,氧气,一氧化碳,氮气）：5x10-4至1000mbar
　　
　　精度（氮气）:1x10-3…100毫巴±15%
　　
　　 5x10-4…1x10-3毫巴±50%
　　
　　 100...1000毫巴±50%
　　
　　 5.皮拉尼真空计的优特点
　　
　　   灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以*大的保护，大大延长了灯丝的使用寿命
　　
　　6.皮拉尼真空计具体型号
　　
　　 PSG050/051
　　
　　 PSG100-SPSG101-S
　　
　　 PSG500/500-SPSG502
　　
　　皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400PCG410PCG550
　　
　　 1.有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起
　　
　　 2.两种原理的规管全过程都工作
　　
　　 3.100mbar—1000mbar使用薄膜规信号
　　
　　 4.1mbar–100mbar两规信号同时采用
　　
　　 5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信号
　　
　　 6.输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃
　　
　　 7.皮拉尼真空计应用行业
　　
　　各种高真空泵的前级压力测量，如光伏，镀膜，等离子行业
　　
　　各种中低真空测量，如照明，冶金
　　
　　真空连锁控制，高真空计的点火开关控制，如PEG100
　　
　　 PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216
　　
　　 PCG400,PCG410（现在已升级为PCG550，PCG400/PCG410已经停产）与PSG500基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用
　　
　　 PSG100PSG101，与PSG500/PSG050基本相同，但因为具有通讯协议功能，在大系统中应用广泛
　　
　　二，电容薄膜规CDG025D/CDG045D/100D/160D/200D
　　
　　 1.电容薄膜规工作原理
　　
　　压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系
　　
　　通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度
　　
　　2.电容薄膜规特点
　　
　　以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成
　　
　　在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量
　　
　　快速的预热和恢复时间,提高生产率
　　
　　 **的长期稳定性,再现性和重复性
　　
　　由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性
　　
　　对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定
　　
　　快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态
　　
　　一键按钮:调零功能和设点调整
　　
　　抗腐蚀超纯陶瓷传感器
　　
　　能经受数百万次压强循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹象
　　
　　暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀
　　
　　对蒸气介质不敏感
　　
　　先进的传感器屏蔽（**）延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命
　　
　　3.INFICON陶瓷技术
　　
　　 陶瓷技术的优越性
　　
　　 1，无“记忆”效应
　　
　　 2，陶瓷无疲劳问题
　　
　　 3，*好的温度补偿
　　
　　 4，**的零点稳定性
　　
　　低使用成本
　　
　　 1.非凡的使用寿命
　　
　　 2.无需隔离阀
　　
　　 4.SkyCDG025D测量范围
　　
　　 5.加热型薄膜规
　　
　　 6.加热型优点
　　
　　零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）
　　
　　更高的精度
　　
　　环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响
　　
　　比工艺更快的预热启动时间’
　　
　　快速恢复时间大气压<1minwithin5mV
　　
　　任意安装角度
　　
　　抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响
　　
　　 7.电容薄膜规的应用
　　
　　要求高的应用条件下，**而快速的压强测量
　　
　　用于刻蚀，CVD,PVD,ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多，抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多，如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4 和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3，国内用的好多PECVD设备上用的是INFICON的CDG025D。
　　
　　资料贮存和显示器制造设备
　　
　　工业真空设备
　　
　　常用高精度真空测量
　　
　　三，热电离规
　　
　　1.热电离规原理
　　
　　Richardson效应:高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子
　　
　　 1）带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出
　　
　　 2）离子流的大小与气体压力成比例关系
　　
　　2.两种类型热电离规
　　
　　3.热电离型复合规
　　
　　 HPG400
　　
　　 BPG400/-SP/-SD/SR
　　
　　 BPG402
　　
　　 BCG450B-A规，皮拉尼规，薄膜规三种型号复合在一起
　　
　　
　　
　　4.优点及应用
　　
　　 BPG400
　　
　　测量范围宽，一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000mbar
　　
　　精度高，极好的重复性5%
　　
　　灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力，皮拉尼自锁保护，使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。
　　
　　方便的校准调节
　　
　　 注意事项：
　　
　　对气体有选择性
　　
　　抗污染能力弱
　　
　　普遍应用于从低到超高真空的测量
　　
　　在工业，半导体，研究行业应用广泛
　　
　　 BPG402
　　
　　双灯丝，大大延长使用寿命
　　
　　电离规的工作可以自定义控制
　　
　　探头备件自带校准参数，保证精度与重复性
　　
　　 HPG400
　　
　　电离规与皮拉尼的复合
　　
　　皮拉尼自锁保护电离规
　　
　　电离规的工作启动点可以一定范围内自定义
　　
　　简易的校准功能
　　
　　相对便宜的价格
　　
　　 BCG450
　　
　　可调的电离规工作起点
　　
　　 **的重复性
　　
　　 **的大气端测量
　　
　　四，冷电离规（潘宁规） PEG100/050
　　
　　 1.冷电离规原理
　　
　　通过气体放电方式产生电子，通过磁场使电子获得能量将气体分子电离
　　
　　 2.潘宁规特点与应用
　　
　　测量范围：5x10-9to1x10-2mbar
　　
　　全金属密封
　　
　　无灯丝
　　
　　易清洗
　　
　　应用于普通的高真空测量
　　
　　3.冷规复合规MPG400特点与应用
　　
　　冷规与皮拉尼规的复合
　　
　　测量范围广：5x10-9-1000mbar
　　
　　易于保养清洗
　　
　　无高真空灯丝，
　　
　　应用于普通高真空测量

下一篇：复合真空计原理及使用方法
上一篇：热阴极与冷阴极电离规计量学特性比较研究